Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ pvd ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅
ΠΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° PVD ΠΈ CVD
ΠΠ° ΠΏΡΠΎΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΠΈΡΡΠΎΡΠΈΡ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΡΡΠΎΡΠ»Π° Π·Π°Π΄Π°ΡΠ° ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ, Π° ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π±Π΅ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ.
ΠΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΡΡΡΠΎ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ° ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, Π²ΡΡΠ°Π»Π° Π² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½ΠΎΠ²ΡΡ Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΆΠ°ΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΡ ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ², ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².
ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΏΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½ΡΡ ΡΡΠ΅Π· ΠΈ ΡΠ²ΡΡΠ» (ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°) ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ Π½Π° ΡΠΆΠ΅ Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠ²ΡΡΠ»Π°, ΡΡΠ΅Π·Ρ ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ
Π Π½Π°ΡΠΈ Π΄Π½ΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½, Π·ΡΠ±ΠΎΡΠ΅Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½ΡΡ ΡΠ²ΡΡΠ» ΠΈ ΡΡΠ΅Π· ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. ΠΠ½ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΊ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΊΠ°ΠΊ:
Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π·Ρ β ΡΡΠΎ Π½Π΅ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΠΎΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ. ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Ρ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΡΠΈΡΡΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ Π²ΡΠ³ΠΎΠ΄Ρ:
ΠΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎ-ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π°ΡΠ»ΠΎ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ.
ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ CVD
Π‘ Π½Π°ΡΠ°Π»Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π»ΠΈ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΡΡΠΌ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° (TiC). ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΡΠΏΠ»Π°Π² Π΄Π°Π²Π°Π» ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π΅ΠΌΡΠΉ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°Ρ, Π½ΠΎ ΡΠ΅Π½ΠΎΠΉ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°. Π ΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ-ΡΠΎ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ TiC Π² ΡΠΏΠ»Π°Π²Π΅ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ»Π°ΡΡ Π½Π°ΡΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ, ΡΡΠΎ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ»ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌ ΠΈ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ»ΡΡ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠΌ ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΈΠΌ.
Π 1970 Π³ΠΎΠ΄Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° Ρ ΡΡΠΏΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΡΠΏΠ»Π°Π²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π±ΡΠ»Π° ΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π° ΠΏΡΡΡΠΌ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ TiC Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠΈΡ ΠΊΡΠΎΠΌΠΊΠ°Ρ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ, Π½Π΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½ΡΡ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅ΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠΈΡΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ. ΠΠ°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅Π΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΡΡΠΎΠΉ ΠΈΠ΄Π΅ΠΈ ΡΡΠ°Π»ΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π° (TiN) ΠΈ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ (Al2O3).
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ:
Π ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π° Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π»Π΅ΠΆΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ, ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠΉ Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅ Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° (Π΄ΠΎ 1200 Π³ΡΠ°Π΄ΡΡΠΎΠ² Π¦Π΅Π»ΡΡΠΈΡ). ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΡΡΡ Π² ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π°Π³ΡΠ΅Π³Π°ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π²ΡΡΡΠΏΠ°Π΅Ρ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ (Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ). ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ» Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ β Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π³ΡΠ΅Π³Π°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ (Π‘VD β Chemical Vapor Deposition).
ΠΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ CVD
ΠΠ΅ ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°:
ΠΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ CVD
Π Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠ°ΠΌ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ:
ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ PVD
ΠΡΡΠ³Π°Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ β ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ (PVD β Physical Vapor Deposition).
ΠΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΡΠΌΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ PVD ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Π»Π΅ΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°. ΠΡΠΈ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π΅ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠ²ΡΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ Π² Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ ΡΠ°Π·Ρ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π° ΡΡΡΡ ΠΊΠΈΠ½Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΡΠΎΠ»ΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°. ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΡΠΎΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ ΡΡΠ°Π½ΡΠΏΠΎΡΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΡ, Π½Π°Π³ΡΠ΅ΡΠΎΠΌΡ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ, Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ 500 Π³ΡΠ°Π΄ΡΡΠΎΠ² Π¦Π΅Π»ΡΡΠΈΡ, Π³Π΄Π΅ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ» ΡΡΠ°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΈ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅.
ΠΠ° ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½ΡΡΠ½Π΅ΠΌ ΡΡΠ°ΠΏΠ΅ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ, ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π°ΡΠ»ΠΈ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Ρ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠΏΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ PVD ΠΈ ΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°
ΠΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ PVD
ΠΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ PVD
CVD ΠΈΠ»ΠΈ PVD
Π ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ CVD ΠΈ PVD ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ.
CVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ PVD. ΠΠΎΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ»ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΡΡΠ³ΡΠ½ΠΎΠ² ΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ°Π»Π΅ΠΉ.
Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ (ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ 2-5 ΠΌΠΊΠΌ) Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠΈΡ , ΠΆΠ°ΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΡ ΠΈ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ².
ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΡ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΈ Π² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ:
Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ PVD, DLC ΠΈ IP ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΠΎΠ²
Π ΡΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π΄Π΅Π»Π΅ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΠ½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡΠΌΠΈ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠΎΠ² ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΈ Π±ΡΠ°ΡΠ»Π΅ΡΠΎΠ² ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ PVD, DLC ΠΈ IP ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. ΠΡΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΠΊΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π»ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΡΡΠ°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ Ρ ΡΡΠΎΠΉ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΠ²Π°ΡΠ°, Π½ΠΎ Π½Π΅ Π²ΡΠ΅ Π·Π½Π°ΡΡ ΡΠΌΡΡΠ»ΠΎΠ²ΡΡ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΡ ΡΡΠΈΡ
ΠΏΠΎΠ½ΡΡΠΈΠΉ. ΠΡΠ°ΠΊ, ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½Π΅Π΅ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ΅ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ
.
Π ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ (Physical vapor deposition) ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΡΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ° Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° β ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΡΠΊΠΎΠ½ΠΈΡ. ΠΡΠΎΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 150-500Β°Π‘.
ΠΡΠ°ΠΏΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ:
— Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠ°Ρ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ;
— ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΡΠΎΠ»ΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ» ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ΅;
— ΡΡΠΎΡ ΠΏΠ°Ρ ΠΈΠ· PVD-ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠ΅ ΡΠ°ΡΠΎΠ², ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π΄ΠΎ 5 ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½.
ΠΠ»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ: ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ°Π·ΡΠΌΠ΅Π²Π°Π΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΉ.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ PVD ΠΊΠΎΡΠΏΡΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ² Π½Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΊΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ. ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΠ΅ΡΠΈΠ½, ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ°ΡΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ Π±Π΅Π· Π±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ².
ΠΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ² Ρ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²Π° ΠΊ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡΠΌ ΠΈΠ·Π²Π½Π΅, ΠΊ ΡΡΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡΠΌ ΠΈ ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½Π°ΠΌ, ΡΠ΅ΠΌ Ρ ΡΠ°ΡΠΎΠ² Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. ΠΡΠΎΡ Π²ΠΈΠ΄ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ½ΠΎ Π·Π°ΡΠΈΡΠ°Π΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΠΎΡ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΆΠ°Π²ΡΠΈΠ½Ρ, ΡΡΠΎ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ Π΄Π°ΠΉΠ²Π΅ΡΠΎΠ². ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, ΡΠ°ΡΡ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΠΈΠ΄ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌ 10-15 Π»Π΅Ρ.
ΠΠ»ΡΡΡ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΎΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½Ρ β Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΡΠΎΠΊ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ ΡΠ°ΡΠΎΠ². Π ΡΠ°Π»ΠΎΠ½Π°Ρ Β«Π¨Π°ΡΠ΅Π»ΡΒ» ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΉ Π°ΡΡΠΎΡΡΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠ°ΡΠΎΠ² Ρ ΡΡΡΠ½ΡΠΌ, ΡΠΎΠ·ΠΎΠ²ΡΠΌ, ΠΆΡΠ»ΡΡΠΌ, ΡΠΈΠ½ΠΈΠΌ, ΡΠ΅ΡΡΠΌ ΠΈ Π±ΡΠΎΠ½Π·ΠΎΠ²ΡΠΌ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ.
DLC (Diamond-like-carbon) β ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΡ ΡΠ°ΠΌΡΡ Π»ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. Π ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π²ΠΎΠ΄Π΅ Ρ Π°Π½Π³Π»ΠΈΠΉΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Β«Π£Π³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ Ρ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈΒ». DLC Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ Π½Π° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΠΎΠΌ, Π½ΠΎ Π² ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ PVD, ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ Ρ ΡΠΎΠΌΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°, Π² DLC ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° Π·Π°ΡΠΈΡΠ°Π΅Ρ ΠΎΡΠΎΠ±Π°Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° ΠΈΠ· ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°, ΠΏΠΎ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΈΠΌ Π±Π»ΠΈΠΆΠ°ΠΉΡΠΈΠΌ ΡΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ β Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠΌ. Π ΠΈΡΠΎΠ³Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡ, ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΠΉ ΠΊ ΡΠΈΠ»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΠΌ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡΠΌ. Π£Π³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Ρ Π°Π»ΠΌΠ°Π·Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΡΠ°ΠΊ ΠΆΠ΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ².
ΠΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°ΠΊΡ: Π΅ΡΠ»ΠΈ Π½Π° Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠΈΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π» Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ DLC ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅, ΡΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΡΡΠΎΠΊ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΎΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π½Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈ Π΄ΠΎ 85 Π»Π΅Ρ!
Π Π°ΡΡΠΎΡΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΠ²Π΅ΠΉΡΠ°ΡΡΠΊΠΈΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ²ΡΡ Π±ΡΠ΅Π½Π΄ΠΎΠ², ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ Π² ΡΠ°Π»ΠΎΠ½Π΅ Β«Π¨Π°ΡΠ΅Π»ΡΒ» Π΅ΡΡΡ ΡΠ°ΡΡ Ρ DLC ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ.
Π’ΡΠ΅ΡΠΈΠΉ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΠ½Π½ΡΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ² β IP ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅. ΠΠΎ ΡΡΡΠΈ ΡΡΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΡΠ΅ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. Π ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ IP ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΡ ΠΈ Π±ΡΠ°ΡΠ»Π΅ΡΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΈΡΠ°Π½ ΠΈΠ»ΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ. ΠΠ° ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠ΅ ΠΈ Π±ΡΠ°ΡΠ»Π΅ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ IP ΡΠ»ΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π² 1-2 ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π°. ΠΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π΄Π²ΡΠΌΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ β Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ°Π»ΡΡ ΠΈ ΠΈΠΎΠ½Π°ΠΌΠΈ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°/ΡΠΈΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ Π³ΠΈΠΏΠΎΠ°Π»Π»Π΅ΡΠ³Π΅Π½Π½Π°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠΊΠ°.
Π’Π°ΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π½Π°Π΄ΡΠΆΠ½ΡΡ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΎΡ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΉ. Π ΡΠ΅Π»ΠΎΠΌ PVD ΠΈ IP ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ ΡΡΠΎΠΊΡ ΡΠ»ΡΠΆΠ±Ρ ΠΈΠ΄Π΅Π½ΡΠΈΡΠ½Ρ.
Π Π°Π·ΡΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ, Π½Π°ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡ Ρ PVD ΠΈ DLC ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠΎΠ² ΠΈ Π±ΡΠ°ΡΠ»Π΅ΡΠΎΠ² Π²ΡΠ³Π»ΡΠ΄ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ½ΠΎ. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΌΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠΈΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ²Π΅ΠΉΡΠ°ΡΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡ Ρ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠΌ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠΎΠΌ ΠΈΠ· Π±Π΅Π»ΠΎΠ³ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°, Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠΎΠ»Π΅ΠΏΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ ΠΈΠ· ΡΠΎΠ·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΈ 18-ΠΊΠ°ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ°ΡΡ Ρ ΡΠΈΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠΎΠΌ.
Π§ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠ΅ pvd ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅
Π Π°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΎΠ±ΡΡΠ»Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π²ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ΅ Π²ΡΡΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΡ
ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ, Π²ΡΠ΅ Π½ΠΈΠΆΠ΅ Π΄ΠΎΠΏΡΡΠΊΠΈ Π½Π° ΠΈΠ·Π½ΠΎΡ. ΠΡΠΎ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅Ρ ΡΠΏΡΠΎΡ Π½Π° Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΏΡΠΎΡΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ.
ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ΠΎΠ²ΡΡ
ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ Π² ΡΡΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ β PVD/CVD (Physical Vapor Deposition/Chemical Vapor Deposition) ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ.
Π Π°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π°ΡΠ°Π»Π°ΡΡ Π² Π‘Π‘Π‘Π Π΅ΡΠ΅ Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ 60-Ρ Π³ΠΎΠ΄ΠΎΠ² XX Π²Π΅ΠΊΠ°. ΠΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π΄Π»Ρ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΠ΅ Β«ΠΡΠ»Π°ΡΒ». Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π±ΡΠ»Π° Π·Π°ΡΠΈΡΠ΅Π½Π° Π·Π°ΡΡΠ±Π΅ΠΆΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ Π² Π‘Π¨Π, ΠΠ΅Π»ΠΈΠΊΠΎΠ±ΡΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈ, Π€ΡΠ°Π½ΡΠΈΠΈ, Π€Π Π, Π―ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΈ, ΠΡΠ°Π»ΠΈΠΈ.
Π‘ΡΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌ ΡΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎ, ΡΠ°ΠΊΠΎΠ²Π°. ΠΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠ΅, Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅, Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠΎΠ½Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π° ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π°ΠΌΠΈ Π²ΡΠ±ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΈΠ· ΠΌΠΈΡΠ΅Π½Π΅ΠΉ-Π·Π°Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΎΠΊ, ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ Π½Π° ΡΡΠ΅Π½ΠΊΠ°Ρ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ, ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎΡΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΌ ΠΈ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°ΡΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ, Π·Π°Ρ Π²Π°ΡΡΠ²Π°Ρ ΠΏΠΎ ΠΏΡΡΠΈ ΠΈΠΎΠ½Ρ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π·Π° ΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΡ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΊΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡ. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ PVD-ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ. ΠΡΡΠ³ΠΎΠΉ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½Ρ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΠ· ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π·Π°. Π’Π°ΠΊΠΎΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ CVD-ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ. Π’Π°ΠΊ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ β PACVD-ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ (ΡΠΈΡ. 1).
Π ΠΈΡ. 1. PVD/PACVD-ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ° RS-50 Oerlikon Balzers
ΠΡΠΈ ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ Π΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠΌ Π°Π·ΠΎΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, PVD/CVD β ΡΡΠΎ Π²ΡΠ΅ ΠΆΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅, Π° Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°. ΠΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° ΠΈΠ½ΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅, Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ β 2β8 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° Π΄ΠΎ 25 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈ ΠΊΡΠ°ΠΉΠ½Π΅ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎ β Π΄ΠΎ 50 ΠΌΠΊΠΌ. ΠΠ»Ρ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ: Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ Π² ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ (Thermal Spray Coatings) ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΎΡ Π΄Π΅ΡΡΡΠΊΠΎΠ² ΠΌΠΊΠΌ Π΄ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠΌ (ΡΠΈΡ. 2).
Π ΠΈΡ. 2. PVD/CVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π² ΡΡΠ΄Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠ² Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ
ΠΠ΅ΡΠ²ΡΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΠ»ΠΎΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ, Π±ΡΠ» Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°. Π’Π°ΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π΄ΠΎ ΡΠΈΡ ΠΏΠΎΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π»Ρ ΡΠΏΡΠΎΡΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π² Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΡ ΡΠ΅Π»ΡΡ . Π‘Π²Π΅ΡΠ»Π° Ρ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΈΡΡΡΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ ΡΠ΅ΠΉΡΠ°Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π½Π°ΠΉΡΠΈ Π² Π»ΡΠ±ΠΎΠΌ ΡΡΡΠΎΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΌΠ°Π³Π°Π·ΠΈΠ½Π΅. ΠΡ Π° Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΈΡΡΡΠ΅ ΠΊΡΠΏΠΎΠ»Π° Ρ ΡΠ°ΠΌΠ° Π₯ΡΠΈΡΡΠ° Π‘ΠΏΠ°ΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½Ρ Π½Π° Π²Π΅ΡΡ ΠΌΠΈΡ.
ΠΡΠ° ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»Π° ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠΈΡΠ΅, ΠΈ ΡΠ΅ΠΉΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π°Π±Π±ΡΠ΅Π²ΠΈΠ°ΡΡΡΠ°ΠΌΠΈ PDV/CVD (Physical Vapor Deposition / Chemical Vapor Deposition) ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΏΡΠΎΡΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈ ΡΠΎΡΠΌΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΡΡΡΠ° ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ° ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠΎΠ². ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠ² PVD/CVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ΅ΠΉΡΠ°Ρ Π½Π΅ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°. Π ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π²Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΉ, Ρ ΡΠΎΠΌ, Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ, ΠΈΠ· Π½Π΅ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ Π°Π·ΠΎΡΠ° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ ΠΈ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄.
ΠΡΠ»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π° ΡΠ΅ΠΆΡΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ Π² Π ΠΎΡΡΠΈΠΈ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎ, ΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π° Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠΎΠ² Π² Π½Π°ΡΠ΅ΠΉ ΡΡΡΠ°Π½Π΅ ΠΏΠΎΠΊΠ° Π²ΡΡΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎ. ΠΡΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠ°Π·Π²Π΅ ΡΡΠΎ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠΏΠ»ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ Π°ΠΏΠΏΠ°ΡΠ°ΡΡΡΡ. Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π²ΠΏΡΡΡΠΊΠ° ΡΠΎΠΏΠ»ΠΈΠ²Π° ΡΠΈΠΏΠ° Common Rail ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π±Π΅Π· PACVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠΈΠΏΠ° DLC Π²Π²ΠΈΠ΄Ρ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ. Π’Π°ΠΊ ΡΡΠΎ Π½Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠ°Ρ ΠΈ ΡΠΎΡΡΠΈΠΉΡΠΊΠΈΡ Π’ΠΠΠ Π΅ΡΡΡ PACVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π² ΠΌΠΈΡΠ΅ ΡΠΆΠ΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Ρ, Π΄Π»Ρ Π ΠΎΡΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠΊΠ° Π΅ΡΠ΅ ΡΠ΅Π΄ΠΊΠΎΡΡΡ.
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ PVD/CVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ
ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ PVD/CVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π½ΠΎ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Π½Π° 3 Π³ΡΡΠΏΠΏΡ ΠΏΠΎ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ΅ΠΌΡΠΌ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΡΠΌ.
1. ΠΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»Π° ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠΎΠ², Π³Π΄Π΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΏΠΎ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ. Π‘ΡΠ΄Π° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ½Π΅ΡΡΠΈ:
β’ Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ, Π³Π΄Π΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΌΠ°Π·ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΎΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Π²ΠΏΡΡΡΠΊΠ° ΡΠΎΠΏΠ»ΠΈΠ²Π°, Π·ΡΠ±ΡΠ°ΡΡΠ΅ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ, ΡΠΌΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΈΠΏΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΈΠΏΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°Π΄ΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ-ΠΏΠΎΡΡΠ½Π΅Π²ΡΠ΅ ΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Π½Π°ΡΠΎΡΡ ΠΈ Ρ. ΠΏ.
β’ Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ, Π³Π΄Π΅ ΡΠΌΠ°Π·ΡΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠΎΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΠ΅ ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ ΡΠΈΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Β«ΡΡΡ
ΠΎΠ³ΠΎΒ» ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΈΠ»ΠΈ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΌΠ°Π·ΠΊΠΈ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π·Π°ΠΏΠΎΡΠ½Π°Ρ Π°ΡΠΌΠ°ΡΡΡΠ°, ΡΠΎΡΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΠΏΠ»ΠΎΡΠ½Π΅Π½ΠΈΡ, Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΠ΅, ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ΡΠ°ΡΡΠ΅ Π½Π°ΡΠΎΡΡ, ΠΏΠ½Π΅Π²ΠΌΠΎΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ.
ΠΠ°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΠΌ ΠΊΡΠΎΠΌΠ΅ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡΠΌ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ»Ρ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΡΠΈΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°. ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΡ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ Π±ΡΠ΄ΡΡ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½Ρ Π½ΠΈΠΆΠ΅.
2. ΠΠ°ΡΠΈΡΠ° ΠΎΡ ΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ
Π²ΠΈΠ΄Π°Ρ
Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ, Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΠ°ΠΏΠ»Π΅ΡΠ΄Π°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ
ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΉ. Π‘ΡΠ΄Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ:
β’ Π Π°Π±ΠΎΡΠΈΠ΅ Π»ΠΎΠΏΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΡΡ
ΠΈ Π»ΠΎΠΏΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠΎΠ² Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ
ΡΡΡΠ±ΠΈΠ½, ΠΊΡΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΊΠΈ Π½Π°Π³Π½Π΅ΡΠ°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ,
β’ ΡΠΎΡΠΎΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ±Π΅ΠΆΠ½ΡΡ
, ΡΠΎΡΠΎΡΠ½ΡΡ
, ΡΠ½Π΅ΠΊΠΎΠ²ΡΡ
ΠΈ ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠ°ΡΡΡ
Π½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΠ΅ ΡΠ·Π»Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»ΠΎΠΊ, Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΠ³Π°ΡΠΎΡΠΎΠ² Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΠΈΡΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ Ρ. ΠΏ.
ΠΠ΄Π΅ΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ β ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΊ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π°ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ. ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ, Π½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ·Π½Π°ΠΊΠΈ β Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ°Ρ, ΡΠ΅ΠΌ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΠΎ, ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π°.
3. Π€ΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈ Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΠΎ-ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π‘ΡΠ΄Π° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ½Π΅ΡΡΠΈ:
β’ ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠΈΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ,
β’ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°,
β’ Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ.
ΠΠ΄Π΅ΡΡ Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΠ΅ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠΈΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡΡΡ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΏΠΈΡΡ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ² ΡΠΎ Π²ΡΠ΅Π΄Π½ΡΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π° ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌ ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ° ΠΈ Π½Π° ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΠΈΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡ, Ρ ΠΎΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎ-ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ½Π΅ΠΌΡ Π½Π° Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΡΡΠΎΠ²Π½Π΅. ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ΅ΡΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΎΠ² ΠΎΡ ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠΌΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠΈΡ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΉ.
Π’ΠΈΠΏΡ PVD/CVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΠΈ ΠΈΡ
ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅
1. Π£Π³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ Π°Π½ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ
Π‘ΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π°Π½ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ. ΠΠ±ΡΠ΅Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Me-C:H (ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»-ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄-Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄) ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅. ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π», Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ β Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌ Π² ΡΠΎΡΠΌΠ΅ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π°, ΡΡΠΎ WC/C β ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠ° ΠΈ Π°ΠΌΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°. ΠΡΡΡ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ a-C:H:Si, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΆΠ΅.
Π ΠΈΡ. 3. ΠΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ
ΠΠ΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π°Π·Π°Π΄ Π²ΡΠ΅ Π°Π½ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ WC/C, ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π»ΠΈΡΡ Π°Π±Π±ΡΠ΅Π²ΠΈΠ°ΡΡΡΠΎΠΉ DLC (Diamond Like Carbon), ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ°Π·ΡΠΌΠ΅Π²Π°Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ, Π°Π»ΠΌΠ°Π·ΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ. ΠΠ° Π΄Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΠ½ΠΎΠΌ DLC ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°ΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ a-C:H-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅, ΡΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Β«Π±ΡΠ΅Π½Π΄ΠΎΠ²ΡΠ΅Β» Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΡ.
ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ· ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π° Π΄Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ β ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ WC/C ΠΈ DLC. Π€Π°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΠΈ Π΄Π²Π° ΡΠΈΠΏΠ° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠΎΠ², Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠΎΠΌΡ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ Π·Π°ΡΠΈΡΠ°ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ Π² ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠΊΠ΅ ΡΠΈΠΏΠ΅ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ β ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅.
WC/C Π½Π°ΡΠ»ΠΎ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Π·ΡΠ±ΡΠ°ΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠ°Ρ (ΡΠΈΡ. 4), ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΈΠΏΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠ΅ΡΡΡΡΠΎΠΌ, ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΆΠ΅ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ , Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΡ ΠΈ Π²ΠΈΠ½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄Π°Ρ , ΡΠ΅ΡΠ²ΡΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅Π΄ΡΠΊΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ .
Π ΠΈΡ. 4. ΠΡΠΏΡΡΠ°Π½ΠΈΡ Π·ΡΠ±ΡΠ°ΡΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°Ρ Ρ WC/C-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ Π±Π΅Π· Π½Π΅Π³ΠΎ
DLC-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»ΠΎ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ΅ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π±Π»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΡΠΎΠΌΡ, ΡΡΠΎ ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ Π²ΠΏΡΡΡΠΊΠ° ΡΠΎΠΏΠ»ΠΈΠ²Π° (ΡΠΈΡ. 5). ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΡΠ΅ΠΉΡΠ°Ρ ΠΎΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈ Π² Π½Π°ΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ β ΡΠΎΡΡΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΠΏΠ»ΠΎΡΠ½Π΅Π½ΠΈΡ, Π² Π±ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ, ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ°Π½ΠΊΠΎΠ², Π² ΡΠ°ΡΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ°Ρ , Π² ΡΠ΅ΠΊΡΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΠΈ, ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ Π·Π°ΠΏΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ Π°ΡΠΌΠ°ΡΡΡΡ ΠΈ Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ .
Π ΠΈΡ. 5. ΠΡΠΏΡΡΠ°Π½ΠΈΡ Π’ΠΠΠ Ρ DLC-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ Π±Π΅Π· Π½Π΅Π³ΠΎ
ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠ΅ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ (ΡΠΈΠΏΠ° a-C, ta-C ΠΈ Π΄Π°Π»Π΅Π΅) ΠΏΠΎΠΊΠ° Π΅ΡΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΈ, Π½ΠΎ ΡΠΆΠ΅ Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π½Π° Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠΉ Π½Π°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Π² Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ , Π³Π΄Π΅ Π½ΡΠΆΠ½Π° ΡΠ²Π΅ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ.
2. ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΎΡ ΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ°
ΠΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅ ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±ΡΡΠΆΠ΄Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ PVD/CVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π΄Π»Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΎΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ°, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ°ΠΊΡ. Π Π΅ΠΏΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π² Π ΠΎΡΡΠΈΠΈ Π±ΡΠ»Π° Π² ΡΠ²ΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅ΡΡΠ΅Π·Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π½Π° Π½Π΅ΡΠ΄Π°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠ²Π°Π»ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ Π²Π½Π΅Π΄ΡΠΈΡΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 1β2 ΠΌΠΊΠΌ. Π ΡΠ²ΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈΡΡ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎ ΠΈ Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ½ΡΡΠ·ΠΈΠ°Π·ΠΌΠΎΠΌ, Π½ΠΎ Π±Π΅Π· Π³Π»ΡΠ±ΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΠΈ ΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΉ ΠΈ Π±Π΅Π· ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅.
Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌ. ΠΡΠΎ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌ Π½Π΅ Β«ΡΠΎΡ ΡΠ°ΠΌΡΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π°Β», Ρ ΠΎΡΡ ΠΈ ΠΎΠ½ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΡΠ΄Π΅ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅Π². ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎ ΠΎΡΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΠΌ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°ΠΌ. ΠΡΠ±ΠΎΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Ρ ΡΡΠ΅ΡΠΎΠΌ Π²ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΊΡΠΏΠ»ΡΠ°ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ. ΠΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°Ρ -ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΠ΅Π»ΡΡ .
Π’Π°ΠΊ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π»ΠΈΠ΄Π΅ΡΡ ΠΎΡΡΠ°ΡΠ»ΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ PVD/CVD- ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ.
Π ΠΈΡ. 6. ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΡΠ°Π½Π³ΠΎΠ²ΡΡ ΠΌΡΡΡΠ°Ρ Π½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ² Π·Π°ΡΠΈΡΠ°Π΅Ρ ΠΈ ΡΠ°ΠΌΡ ΠΌΡΡΡΡ, ΠΈ ΡΡΡΠ±Ρ ΠΎΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ° Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ
ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π²Π΅ΡΠ½Π΅ΠΌΡΡ ΠΊ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡΡ ΠΎ Π·Π°ΡΠΈΡΠ΅ ΠΎΡ ΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ°. ΠΡΠ»ΠΈ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π² ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ , Π³Π΄Π΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΏΠΎ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΉ, ΡΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠΎΡΡΠΎΠΉΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΡΠ°ΠΌ, Π³Π΄Π΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΉ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ. ΠΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡ, ΠΊΠ°ΠΏΠ»Π΅ΡΠ΄Π°ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΠΎΠ·ΠΈΡ, Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΉ.
ΠΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎ, Π½Π΅Π»ΡΠ·Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π²ΠΈΠ΄ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΎΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠ³ΠΎ. ΠΡΠΈ Π»ΡΠ±ΠΎΠΌ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ, Π΄Π°ΠΆΠ΅ Ρ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΉ Π»ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΌΠ°Π·ΠΊΠΎΠΉ, Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° Π΅ΡΡΡ ΠΈ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΡΠΉ, ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ°. Π’Π°ΠΊ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΡΠ°Π½Π³ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΡΡΡΡ Π½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠ±ΡΡΠΈ Π½Π΅ΡΡΠΈ ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΠΏΠΎ ΡΡΠ΅Π½ΠΊΠ°ΠΌ ΡΡΡΠ± Π² ΡΠΊΠ²Π°ΠΆΠΈΠ½Π΅, ΠΈΡΠΏΡΡΡΠ²Π°Ρ, ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅. ΠΡΡΠΎΠΊΠΎΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ΅ DLC- ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Π½ΠΎ ΠΈ Π·Π°ΡΠΈΡΠ°Π΅Ρ ΠΎΡ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ°. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΌΡ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΠΌ ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡΡ Π΄Π»Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΎΡ ΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ°, ΠΌΡ ΠΈΠΏΠΎΠ΄ΡΠ°Π·ΡΠΌΠ΅Π²Π°Π΅ΠΌ, ΡΡΠΎ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π² ΡΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ , ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΡΡΠΌΠΎΠ΅ ΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠΌ, Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡΠΈΠΌ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ.
ΠΠ»Ρ Π·Π°ΡΠΈΡΡ ΠΎΡ ΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡΡ ΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ. ΠΡΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ TiAlN ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ 3200 HV ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅. ΠΡΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΊ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎΠΌΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΡ Π² 100 ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ°Π· Π²ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Ρ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ, Π° ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΎΠ΄Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ±ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΊΠ°ΠΊ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΏΡΠΈ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΠΎ-ΡΡΡΡΠΉΠ½ΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ, Π²ΡΡΠ΅ Π² 10 ΡΠ°Π·.
Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π² ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ±Π΅ΠΆΠ½ΡΡ Π½Π°ΡΠΎΡΠ°Ρ Π½Π° ΠΊΡΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΊΠ°Ρ ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠΏΠ°, Π½Π° ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ½ΡΡ , ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠ°ΡΡΡ ΠΈ Π²ΠΈΠ½ΡΠΎΠ²ΡΡ Π½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ² β ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎ Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΠ°ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠ°Ρ ΡΡΠ΅Π΄Π° ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ Π² ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΌ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ Π°Π±ΡΠ°Π·ΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ, Π½Π° Π»ΠΎΠΏΠ°ΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΠ±ΠΈΠ½ (ΡΠΈΡ. 7), ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°ΡΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΏΠ»Π΅ΡΠ΄Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ.
Π ΠΈΡ. 7. ΠΠΎΠΏΠ°ΡΠΊΠΈ Π²ΡΡ Π»ΠΎΠΏΠ½ΡΡ ΡΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ² ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΠ±ΠΈΠ½ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°ΡΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΏΠ»Π΅ΡΠ΄Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ
3. ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ
ΠΠΎ ΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡΠΌ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ½Π΅ΡΡΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, Π·Π°ΡΠΈΡΠ°ΡΡΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ Π°Π²ΠΈΠ°Π»Π°ΠΉΠ½Π΅ΡΠΎΠ² ΠΎΡ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ, ΠΈΠ·Π½ΠΎΡ ΠΈ ΠΎΡΠΊΠ°Π· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΡΡΡ ΡΠΌΠ΅ΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΡΠΌ (ΡΠΈΡ. 8).
Π ΠΈΡ. 8. PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π·Π°ΡΠΈΡΠ°Π΅Ρ Π΄Π΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΠΏΠ°ΡΡΠ°ΠΆΠΈΡΡΠΊΠΈΡ Π°Π²ΠΈΠ°Π»Π°ΠΉΠ½Π΅ΡΠΎΠ² ΠΎΡ ΡΡΠ΅ΡΡΠΈΠ½Π³ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ°
ΠΠ΅ΡΠ°Π»ΠΈ ΠΏΠΈΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ Ρ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΡ, Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠ³Π°ΡΡΡΡ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ»ΠΈ ΠΈ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠ΅ΠΉ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΡΡ Π² ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°Ρ . ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π»ΠΈ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠ΅, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π½Π΅Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ. ΠΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΠΎΠΌΡ, ΡΡΠΎ, Π½Π°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π½ΠΎΠΆΠΈ ΠΌΡΡΠΎΡΡΠ±ΠΎΠΊ ΠΈΠ»ΠΈ Π±Π»Π΅Π½Π΄Π΅ΡΠΎΠ², ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π»ΠΈ, Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π±ΡΡΡΡΠΎ ΠΏΠΎΡΠ΅ΡΡΡΡ ΠΎΡΡΡΠΎΡΡ. ΠΠ°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠΈΠΏΠ° CrN, TiN ΠΈ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π·Π°ΡΠΈΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΎΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ° ΠΈ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎ ΡΠ΅Π±Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ, Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΈΠ· Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠΈΡ ΡΡΠ°Π»Π΅ΠΉ Π² ΡΠΎΠ»Π΅Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Π΅ ΠΏΠΈΡΠ΅Π²ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΎΠ².
Π ΠΈΡ. 9. ΠΠΎΠΆΠΈ ΠΏΠΈΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Ρ PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π² 5β10 ΡΠ°Π· Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΉ ΡΠ΅ΡΡΡΡ, ΡΠ΅ΠΌ Π±Π΅Π· Π½Π΅Π³ΠΎ
ΠΠ΅Π· ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π΅ ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½Ρ (ΡΠΈΡ. 10). ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΠΎΡΡΡΠΎΡΡ ΡΠΊΠ°Π»ΡΠΏΠ΅Π»Ρ Π² Ρ ΠΎΠ΄Π΅ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, Π·Π°ΡΠΈΡΠ°ΡΡ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΎΡ Π½Π°Π»ΠΈΠΏΠ°Π½ΠΈΡ Π±ΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈ ΡΠΊΠ°Π½Π΅ΠΉ, ΠΈΠΌΠ΅Ρ ΡΠ°Π·Π½ΡΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ, ΡΠΏΡΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅, ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΠ²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡ Π±Π»ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅. ΠΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠ° ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π±Π°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΠΈΠ΄Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°.
Π ΠΈΡ.10. ΠΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΡ Ρ ΡΠ΅ΡΡΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ PVD/CVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ
Π‘ΡΠ΅ΡΠ° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ PVD/CVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Ρ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΌ Π΄Π½Π΅ΠΌ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ. ΠΠ½ΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°ΡΡ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ Π² ΡΠ°ΠΌΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ·Π»Π°Ρ ΠΈ ΡΠ΄ΠΎΠ±ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. Π ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ Π³Π°Π»ΡΠ²Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΡΠΎΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ Π½Π΅ ΡΠΎΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΎ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π°Π»Π΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΡΠΎΠΌΠ°.
PVD/CVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π²ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π²Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ Π² Π½Π°ΡΡ ΠΆΠΈΠ·Π½Ρ. ΠΠΎ ΡΡΡΠΈ, ΠΎΠ½ΠΈ Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π½Π°ΡΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ Π±Π»ΠΈΠΆΠ΅ ΠΊ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅, Π° Π·Π½Π°ΡΠΈΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π΅Π΅. ΠΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΡ ΡΠ°ΠΊ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½Π°ΡΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ: ΡΡΠΎ ΠΊΠΎΠΆΠ° ΡΠ΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ° ΠΈ ΠΆΠΈΠ²ΠΎΡΠ½ΡΡ , ΠΊΠΎΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅Π²Π°, ΠΊΠ»Π΅ΡΠΎΡΠ½Π°Ρ ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ°, Π·Π°ΡΠΈΡΠ°ΡΡΠ°Ρ ΠΈ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΠ°ΡΡΡ ΠΎΡ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π½ΠΈΠΌ. ΠΡ ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠΆΠ°Π΅ΠΌ Π½Π°ΡΠΈ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ ΠΊ ΡΠΎΠΌΡ, ΡΡΠΎ Π΄Π°Π²Π½ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ΄ΡΠΌΠ°Π»Π° ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π°: ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³Π°ΡΡ ΠΆΠΈΡΡ.
ΠΠΠ Β«ΠΠ΅ΡΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½ ΠΠ°Π»ΡΡΠ΅ΡΡ Π Π£Π‘Β»
Π ΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»Ρ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ
Β«ΠΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΡΒ» ΠΠΈΠΊΠΎΠ»Π°ΠΉ ΠΠ°Π»Π΄Π°Π΅Π²
MΠΎΠ±.: +7 916 0414771
Nikolai.Baldaev@oerlikon.com
ΠΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡΡ Oerlikon Balzers ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ ΠΠΠ Β«ΠΠ΅ΡΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½ ΠΠ°Π»ΡΡΠ΅ΡΡ Π ΡΡΒ»
ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ ΠΆΡΡΠ½Π°Π» «Π ΠΠ’Π ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ΠΈΡ» β 7-2020
PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° ΡΠ°ΡΠ°Ρ ΠΈ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ
Π§Π°ΡΡ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΊ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Ρ ΠΈΠ· ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°, ΡΠ°ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΠ°Ρ ΡΡΠ°Π»Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΡΠ°Π½, Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅. ΠΠΎ ΠΎΠ½ΠΈ Π½Π΅ Π·Π°ΡΠΈΡΠ΅Π½Ρ ΠΎΡ ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠΈΠ½ ΠΈ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΈ Π½Π°ΡΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ, Π½Π°ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π±Ρ Ρ ΠΎΡΠ΅Π»ΠΎΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π»Ρ. Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠΈΡΡ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΠΉ Π²ΠΈΠ΄ Π°ΠΊΡΠ΅ΡΡΡΠ°ΡΠ° ΠΈ ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π΅Π³ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ, Π±ΡΠ΅Π½Π΄Ρ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡ PVD-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅. Π Π°ΡΡΠΊΠ°ΠΆΠ΅ΠΌ ΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΡΡΠ½ΠΈΡΡ, Π·Π°ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ½Π° Π½ΡΠΆΠ½Π°.
Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅
ΠΡΡΠΎΡΠΈΡ ΠΠΠ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ
PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ Physical vapor deposition. Π ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π²ΠΎΠ΄Π΅ Π°Π±Π±ΡΠ΅Π²ΠΈΠ°ΡΡΡΠ° ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ Β«Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ (Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ) ΡΠ°Π·ΡΒ» ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΡΠΎ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅. ΠΡΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΠΈ. Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ Π²ΡΠ³ΠΎΠ΄Π½Π° Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΡΡΠ΅Ρ, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ Π°ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΈ Π°Π²ΠΈΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ. ΠΠ½Π° ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½ΡΠΊΠΈΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ, ΡΠ΅ΠΆΡΡΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ°Π»Π΅ΠΉ Π³ΠΎΠ½ΠΎΡΠ½ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΠΈΠ΄ΠΎΠ². ΠΠ°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΈΠ΄Π°Π½ΠΈΡ Π°ΠΊΡΠ΅ΡΡΡΠ°ΡΠ°ΠΌ Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΈΠ²Π»Π΅ΠΊΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ Π΄Π»Ρ ΡΠ°ΡΠΎΠ².
ΠΠΠ-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π½Π°ΠΈΠ»ΡΡΡΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ Β«ΠΏΡΠΈΠ»ΠΈΠΏΠ°Π΅ΡΒ» ΠΊ Ρ ΡΠΎΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°ΠΌ. ΠΠ½ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡΡ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π½Π° Π½Π΅ΡΠΆΠ°Π²Π΅ΡΡΡΡ ΡΡΠ°Π»Ρ ΠΈ ΡΠΈΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΡΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΊΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π±Π΅Π·Π²ΡΠ΅Π΄Π½ΡΠΌ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ Π»ΡΠ±ΡΠ΅ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΈ.
ΠΠΎ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ°ΠΌ Π²ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΎ Π² ΠΊΠ½ΠΈΠ³Π΅ Β«Vapor DepositionΒ» 1966 Π³ΠΎΠ΄Π°. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ΅Π½Ρ Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ ΡΠ°Π½ΡΡΠ΅. ΠΡΡΠΎΡΠΈΡ ΠΠΠ ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π° Ρ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΡ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΉ, ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, ΠΌΠ°Π³Π½Π΅ΡΠΈΠ·ΠΌΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Ρ ΠΈΠΌΠΈΠΈ. ΠΠΈΡΡ ΠΊ 1990-ΠΌ Π³ΠΎΠ΄Π°ΠΌ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ².
ΠΠ°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠΉ
ΠΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΉ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠ΅, ΠΎΡ 0,25 Π΄ΠΎ 5 ΠΌΠΊΠΌ. ΠΡΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅Ρ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ Π·Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡ. Π’Π²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π° Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠ° ΠΊ ΡΠ°ΠΏΡΠΈΡΡ. PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΠ»ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ°ΡΠΎΡΡ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ ΡΠ°ΡΠΎΠ². ΠΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΠΌΠΈ, ΡΡΠΎΡ ΡΠΎΠ½ΡΠ°ΠΉΡΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π·Π°ΡΠΈΡΠ°Π΅Ρ Π°ΠΊΡΠ΅ΡΡΡΠ°Ρ ΠΎΡ ΡΠΆΠ°Π²ΡΠΈΠ½Ρ ΠΈ ΠΈΠ·Π½ΠΎΡΠ°, Π½ΠΎ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ Π΅ΠΌΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ»Π΅Π³Π°Π½ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΠΈΠ΄. ΠΠ°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ Π±ΡΠ΅Π½Π΄Ρ, ΠΊΠ°ΠΊ Casio, Rolex, Victorinox (ΠΏΡΠΎΠΌΠΎΠΊΠΎΠ΄ Π½Π° ΡΠΊΠΈΠ΄ΠΊΡ 10% β STONE), Tag Heuer, Piaget Altiplano, Shinola, Omega ΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠ΅.
ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ: ΡΠΈΡΠΊΠΎΠ½ΠΈΠΉ, ΡΠΈΡΠ°Π½, Ρ ΡΠΎΠΌ, ΡΠΈΡΠ°Π½-Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ ΠΈ Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΠΉ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ°. ΠΡΠΎ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ Π»Π°ΡΡΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΈ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΎΠ½Π°, ΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ, ΡΠ΅ΡΡΠΉ, Ρ ΡΠΎΠΌ, ΠΌΠ΅Π΄Ρ ΠΈ Π±ΡΠΎΠ½Π·Π°, ΠΏΡΠΈΡΠ΅ΠΌ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ Π³Π»Π°Π΄ΠΊΠΈΠ΅, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΡ.
Π‘Π΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ DLC (Diamond like Carbon). ΠΠ½ΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ ΠΏΠΎ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΠΠ. Π‘Π²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΊΡΠΎ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅Ρ, Π½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ½ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°, ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠ°, ΡΡΠΎ, ΠΊΠ°ΠΊ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· Π΅Π³ΠΎ Π½Π°Π·Π²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅Ρ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ² Π΄ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ Π±ΡΠΈΠ»Π»ΠΈΠ°Π½ΡΠΎΠ². Π ΡΠ»ΠΎΠ²Ρ, ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠ½ΠΎ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ Π² ΡΠ°ΡΠ°Ρ Apple Watch 4 Space Black, Π² ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΠ°ΠΊ Ρ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈ Gold ΠΈΠ΄Π΅Ρ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΠΠ-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅.
PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΌ
ΠΡΡΠΈΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π΅ΡΡ ΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΡΠΈΡΠ°ΡΡ Π°ΠΊΡΠ΅ΡΡΡΠ°ΡΡ, ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ· Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ°. Π ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΎΠ½ΠΎ ΡΠ»ΠΈΡΠΊΠΎΠΌ ΠΌΡΠ³ΠΊΠΎΠ΅ ΠΈ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ Π΅ΠΆΠ΅Π΄Π½Π΅Π²Π½ΠΎΠΌ Π½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎ ΠΆΠ΅, Π΄ΡΠ°Π³ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠΉ. ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ Π±ΡΠ΄ΠΆΠ΅ΡΠ½ΡΠΉ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½Ρ β ΠΏΠΎΠ·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅. ΠΠ½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅ΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΡΠΈΠ΄Π°ΡΡ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΡ Π²ΠΈΠ΄ Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° Π·Π° ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡ ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ. ΠΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½Ρ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ Π½Π΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ.
Π§ΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ»Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ΅Π½Π΅, Π½ΠΎ Ρ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠΌΠΈ ΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΠΠ-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅. Π¦ΠΈΡΠΊΠΎΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΡΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠΌ Π΄Π»Ρ ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ΅Π»ΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π²ΡΠ³Π»ΡΠ΄Π΅ΡΡ ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠ°ΠΊ ΠΆΠ΅, ΠΊΠ°ΠΊ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°Π² Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΌ. Π’ΠΎ ΠΆΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΊΠ°Π·Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°.
ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎ Π² ΡΠ°ΡΠ°Ρ , Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΡΠΈΡΠ°ΡΡ Π½Π΅ ΠΎΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΎΡ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°. ΠΠ½ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡ PVD ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠΎΠΌ β ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π°Ρ , ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΎΡ 0,15 Π΄ΠΎ 0,30 ΠΌΠΊΠΌ. Π₯ΠΎΡΡ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ 50 Π»Π΅Ρ Π½Π°Π·Π°Π΄, ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ Π²ΡΠ΅ ΡΠ°Π²Π½ΠΎ ΠΈΠ·Π½Π°ΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ. Π§Π΅ΠΌ ΡΠ°ΡΠ΅ Π½ΠΎΡΠΈΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ°ΡΡ, ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ°ΡΠ°ΠΏΠ°ΡΡ ΠΈΡ , ΡΠ΅ΠΌ Π±ΡΡΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π½Π΅Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ»ΠΎΠΉ ΠΈ, Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΎΠ², ΡΡΠ°Π»Ρ Π½Π°ΡΠ½Π΅Ρ Π²ΡΠ³Π»ΡΠ΄ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠΊΠ²ΠΎΠ·Ρ Π½Π΅Π³ΠΎ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΠ΅ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ΅ Π°ΠΊΡΠ΅ΡΡΡΠ°ΡΡ Π½Π΅ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ΅Π½Π΄ΡΠ΅ΡΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π²Π½ΡΠ΅.
ΠΠΎΠ΄Π²ΠΎΠ΄Ρ ΠΈΡΠΎΠ³ΠΈ, Ρ ΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΠΠ-ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ β Π²Π΅ΡΡ Π½ΡΠΆΠ½Π°Ρ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π΅Π·Π½Π°Ρ. ΠΠ½ΠΎ Π·Π°ΡΠΈΡΠ°Π΅Ρ ΠΎΡ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΉ, ΠΏΡΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»Ρ Π»ΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ ΠΈ Π±Π»Π΅ΡΠΊ. Π ΡΠΎΠΌΡ ΠΆΠ΅, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΡΡΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΠΎΡΡΠ΅Π½ΠΎΠΊ, ΡΠΎ ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΎ Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅ΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π±ΡΠ΄ΡΡ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½Ρ.